In dem Forschungsprojekt „Schaltplan-basierter Entwurf von MEMS für Anwendungen in Optik und Robotik“ – kurz MEMS2015 erkunden Experten aus Forschungseinrichtungen und Industrie völlig neue Methoden für die MEMS-Entwicklung. Ziel ist es, erstmalig eine universelle Entwurfsmethodik für Mikro-Elektromechanischen-Systemen (MEMS) zu entwickeln, die die Lücken zwischen Elektronik- und Mechanik-Design, der Fertigung sowie der anschließenden Integration in Produkte schließt und damit auch damit das MEMS-Marktpotenzial um bis zu 50 Prozent steigert.
Mit den neuen Methoden lassen sich neuartige Sensor- und Aktorsysteme in den Leitanwendungen Optik und Robotik entwickeln – damit können zum Beispiel Roboter künftig besser sehen und tasten. So sind weitreichende Anwendungen von Mikrospiegel-Arrays – die bereits heute in Projektoren eingesetzt werden – denkbar, die einmal Bilder z. B. über eine Art Brille direkt auf die Netzhaut projizieren. In der Robotik können Kraftfühler und Profilometer entwickelt werden, die Oberflächen noch genauer als bisher analysieren bzw. einen äußerst genauen Tastsinn nachbilden. Die Ergebnisse des Projekts werden im Rahmen des Vorhabens anhand realer MEMS-Prototypen überprüft, die dadurch auch als Demonstratoren fungieren.
Mit den Projektergebnissen werden die Möglichkeiten einer breiten MEMS-Anwendung im professionellen und sicherheitsrelevanten Umfeld enorm erweitert. Zudem können kleine und mittelgroße Unternehmen (KMUs) dank der neuen Methoden in Zukunft auch MEMS entwerfen und viel häufiger und in größerer Vielfalt als heute in ihre Produkte integrieren.
Das auf drei Jahre angelegte und durch das BMBF im Rahmen der Hightech-Strategie der Bundesregierung und dem Förderprogramm IKT2020 mit ca. 3,5 Mio. EUR unterstützte Forschungsprojekt MEMS2015 bündelt die Potenziale von acht Partnern aus Forschung und Industrie: Cadence Design Systems GmbH, Carl Zeiss SMT GmbH, Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme GmbH, Robert Bosch GmbH, Technische Universität München, TETRA Gesellschaft für Sensorik, Robotik und Automation mbH, Universität Bremen und X-FAB Semiconductor Foundries AG. Das Projektmanagement von MEMS2015 übernimmt das edacentrum in Hannover.
