NEEDS

Das Institut für Mikrosystemtechnik der Universität Siegen (USI) bündelt Kompetenzen im Bereich der Forschungen zu den Fertigungsverfahren, der Schaltungstechnik und des Entwurfs von Mikrosystemen mit (nano-)elektrischen und nicht-elektrischen Komponenten.
Ausgehend von Forschungsarbeiten im Bereich der Werkzeuge für den Layoutentwurf analoger Schaltungen wurden zunehmend fertigungsbezogene Aspekte des Schaltungs- und Systementwurfs in den Fokus des Interesses gerückt. Der Lehrstuhl Mikrosystementwurf (MSE, Prof. Dr. Rainer Brück) beschäftigt sich seit ca. zehn Jahren mit Methodik und Werkzeugentwurf für die Mikro- und Elektroniksystemtechnik. Im Mittelpunkt der Forschungen steht dabei die Schnittstelle zwischen den Fertigungsprozessen und dem Systementwurf. In bilateralen Industrieprojekten (u.a. mit Robert Bosch GmbH, Corporate Research 2002-2004) und EU-Projekten (PROMENADE 2004-2007) wurde ein Prozessdesignsystem erforscht, das als eine Grundlage des hier vorgeschlagenen Clusterforschungsbeitrages fungieren kann. Im IKT 2020 Projekt Leonidas+ wurde die Verifikation von Technologie- und Schaltungsconstraints erforscht. Im einem weiteren vom Lehrstuhl MSE initiierten EU-Projekt (CORONA 2008-2011) steht das komplette Product Engineering von Mikrosystemen im Vordergrund. Auch hier zielen die Beiträge der Uni Siegen auf die Schnittstelle zwischen Design und Fertigung.