Nach technologischen Fortschritten in der 3D-Integration sind jetzt die ersten Produkte, die diese nutzen, am Markt eingeführt. Damit das Potential der 3D-Integration in Zukunft besser genutzt werden kann, müssen jetzt die Entwurfswerkzeuge entsprechend angepasst und weiterentwickelt werden. Ein Problem dabei sind fehlende Datenformate zur einheitlichen Definition und Speicherung von Entwurfsdaten. Deshalb wird in dieser Arbeit eine einheitliche Modellierungssprache für Komponenten, Teilsysteme sowie Systeme in der 3D-Integration vorgestellt. Die entwickelte Sprache beruht auf dem XML-Format und ist damit mit vielen für diese Sprache entwickelten Werkzeugen handhabbar. Ein weiterer Vorteil einer Spezifikationssprache, die auf dem XML-Format aufbaut, ist die einfache Transformation der Daten in andere sowohl XML-basierte Formate sowie externe Formate. Diese Transformationen und deren Anwendung im Entwurf werden ebenfalls vorgestellt.